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研磨液废水怎么处理|研磨液废水如何处理

顶目游戏 背景 某超大型半导分娩制造厂家处于长四角中北部,最主要分娩晶圆和电子器件。在分娩具体步骤中,晶圆激光切割和打蜡 阶段中所产生巨大粉磨液污水,单日释股票放量约50吨。因污水里面的具有高含量悬屏物、金属质阴离子及有机肥料含有剂,真接释放会对大环境导致的厉害空气污染,厂家紧缺投建的专业除理公用设施。 焦化废水组成及来源于 研磨机液废污水最一般的种类于晶圆工作中的电学机制增加光泽(CMP)工步,最一般的污染问题物包涵: 悬浮物粒子物 :二钝化硅、钝化铝等打磨小粒,粒度分布在0.1-1μm,氧浓度达到2000mg/L。 金属质化合物 :铜、铁、锌等,基镜面抛光垫偏磨及晶圆单单从表面金属质层,铜化合物氧浓度约50mg/L。 可挥发加剂 :以及表面能可溶性剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。 强酸强强碱产品 :pH值价格波动大,通畅在2-11期间。 治疗工艺生产流程图生产流程图 重视工业废水基本特征,用“预整理+生物化+进一步整理”组合成新工艺: 调控池 :稳定水质监测发电量,修改耐酸碱调试pH至碱性。 混凝土沉淀物中 :添加PAC(聚合物氯化铝)和PAM(聚丙酰胺),取除悬浮按钮物和氢氧化铁,沉降后SS取除率>90%。 催化剂的作用阳极氧化 :适用Fenton化学药品(H₂O₂+Fe²⁺)分解生物碳填加剂,COD取除率达60%。 怪物整理 :MBR膜生物体反映器进三步分解所剩有机会物,COD降落到100mg/L一下。 阴离子交流 :专用箱不饱和树脂粘附铜铝离子,满水后铜水分含量<0.5mg/L。 砂滤+亲水性炭滤水 :加强组织领导有水出清冽,满足《工业废水综合性尾气排放细则细则》(GB8978-1996)一级通过成绩细则。 不可能视觉效果 系統电脑运行比较稳定后: SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴阳离子<0.3mg/L。 中水回用率达40%,剩的及格减排,年增多废液减排1.7万吨。 处里成本费用约15元/吨,远小于业内总值。

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