该晶圆制造技术厂是在华中中北部,主耍产出的8屏幕尺寸半导体技术晶圆,单日废水处理排缩量上涨量约800吨。由产出的的过程中便用很大氢氧化钠开展晶圆蚀刻,造成的废水处理中氟化物浓硫酸浓度高达到200-300mg/L,远超政府排缩量上涨规格(10mg/L以內)。
废渣因素及因素
废水处理工艺核心基四个环节:
晶圆蚀刻环节
:含ab剂值氟化物(HF)、氰化钠及小量高价属
电化学机器磨光(CMP)废气
:含纳米技术级硅粉末、有机肥料络合剂
环保设备擦洗焦化废水
:含异丙醇、氧化还原电位等可挥发物
治理 加工具体流程
采取"化学物质积淀+混泥土积淀+淬硬层过滤机系统"3级治理机系统:
二级处里
:加药系统氯化钙和氢阳极氧化钙,行成氟化钙结晶,氟化物的还原率达85%
二次工作
:增多PAC(汇聚氯化铝)和PAM(高分子聚乙烯酰胺),清理电解质溶液态空气污染物质
3级治理
:实现多导电介质过滤水器和活力炭粘附,水流氟化物溶度安全稳定在8mg/L一些
关键的机以及:pH会自动缓解平台、斜管沉淀出的池、板框带式压滤机(淤泥脱水怎么办)。
终极特效
活动作业十年监测方案参数彰显:
氟化物人均氨水浓度:7.2mg/L(降到国度标准)
COD的还原率:92%
工业废水含水量率:≤65%
年环保再生资原回收氟化钙副物品约150吨,达成资原化进行