某半导制作制造业企业因晶圆的洗涤生产工序产生含氨废液,出水量200吨/天。废液中除氧化还原电位外还有氟化物和氢化物发生器天价属,操作难易度大。本县尾气排放原则原则条件氧化还原电位<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废液营养成分及因素
晶圆的洗涤焦化废水(注意由来):含化学需氧量200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀制作工艺焦化废水:含微量分析铜、镍等血本属,pH值起伏大
CMP碾磨焦化废水:含硅颗粒肥料及氟化物
解决新工艺流程
所采用"检查是否石雕文化沉淀+膜溶合+折点氯化"组和工艺设计:
预治理
:添加CaCl2除氟,控制pH在7.5-8.
超滤膜软件系统
:我们要除0.01μm及以上颗料物
反融于浓缩液
:将氯离子果汁至1000mg/L不低于
折点氯化
:精密抑制氯污泥脱水量,将高锰酸盐指数流量转化为惰性气体
阴离子更换
:的保障巨资属标准
最后郊果
高锰酸盐指数稳定可靠<3mg/L,氟化物<1mg/L
血本属量高于检测工具限
水循环率达75%
活性污泥产生了量缩短40%